近日
，南宫NG28机电成功研发出拥有国际先进水平的8英寸单片式碳化硅表延成长设备
，引领国内碳化硅行业技术升级。该设备可实现掺杂均匀性4%以内的表延质量
，是南宫NG28机电在第三代半导体设备领域的又一次沉要技术突破。

8英寸单片式碳化硅表延成长设备团队合影

        此前
，南宫NG28机电已成功开发了6英寸碳化硅表延设备
，技术机能和市占率均居国内前列
，获得了沉要市场职位。这次8英寸单片式碳化硅表延成长设备的成功研发
，标志取南宫NG28机电在碳化硅行业的技术研发能力迈上了新台阶
，为国内碳化硅行业技术、产能升级提供了充分的设备保险。

8英寸单片式碳化硅表延设备

        碳化硅作为、通讯、光电、新能源等领域。相迸宗6英寸
，8英寸碳化硅晶圆的边缘损耗更幼、可利用面第三代半导体资料
，拥有耐高温、高电压、高频率、高功率蹬着良机能
，被宽泛利用于电力积更大
，未来通过产量和规模效益的提升
，成本有望降低60%以上。南宫NG28机电的8英寸单片式碳化硅表延成长设备
，可为行业提供更为先进的技术支持
，推动碳化硅行业的急剧发展。

        据悉
，8英寸单片式碳化硅表延设备可兼容6、8寸碳化硅表延出产
，在6英寸表延设备原有的温度高精度关环节造、工艺气体精确分流节造等技术基础上
，解决了腔体设计中的温场均匀性、流场均匀性等节造难题
，实现了成熟不变的8英寸碳化硅表延工艺。目前
，在子公司晶瑞的8英寸衬底基础上
，已实现8英寸单片式碳化硅表延成长设备的自主研发与调试
，表延的厚度均匀性1.5%以内、掺杂均匀性4%以内
，已达到行业当先水平。

工艺了局

8英寸表延片

        未来
，南宫NG28机电将持续秉持“打造半导体资料设备当先企业
，发展绿色智能高科技造作产业”的使命
，持续加强技术创新和研发投入
，为碳化硅产业的发展和科技进取不懈致力。同时
，公司将积极推动绿色智能造作
，致力实现出产过程的数字化、智能化和绿色化
，为客户提供优质的产品和服务
，为社会创造价值
，作出更大贡献。

真挚约请

        相识更多8英寸碳化硅表延设备信息
，欢迎您6月29日-7月1日
，莅临上海半导体展会E6-201展位互换洽谈。

展位成效图