近日，南宫NG28机电下属公司浙江求是创芯半导体设备有限公司（以下简称“求是创芯”）顺利交付12英寸减压表延设备，标志取公司在集成电路主题设备领域获得又一沉要突破，并进一步拓宽了硅表延设备在分歧造程领域的利用能力，充分彰显了公司高端半导体设备研发与造作确当先实力。

▲12英寸减压硅表延设备交付典礼

本次交付的12英寸减压表延设备宽泛合用于功率器件、存储芯片、逻辑芯片、硅光芯片中的各项造程。设备选取单温区、多温区关环控温模式，结合多真空区间精准控压技术，确保表延成长过程的高度不变性。此表，其怪异的扁平腔体结构和多口分流系统设计，可能显著提升表延层的膜厚均匀性和掺杂均匀性，满足先进造程的高尺度要求。同时，设备建设原位刻蚀洗濯单元，可选择性去除晶圆表表氧化物，有效耽搁设备守护周期。

▲ 12英寸减压硅表延设备

本次设备的成功交付，不仅丰硕了求是创芯硅表延设备的产品线，更彰显了南宫NG28机电在推动半导体设备国产化代替过程、实现高质量发展上的坚定刻意与壮大实力。 未来，公司将持续秉持 “打造半导体资料设备当先企业，发展绿色智能高科技造作产业” 的使命，深入技术创新与产业链布局，致力于攻克前沿技术瓶颈，为中国半导体产业发展提供主题支持。