近日，南宫NG28机电下属公司浙江求是创芯半导体设备有限公司（以下简称“求是创芯”）多台先进造程主题薄膜沉积设备相继成功交付国内头部客户。这次交付不仅彰显了求是创芯在高端半导体设备领域的技术实力与量产能力，更标志取公司集成电路设备在12寸表延、原子层沉积等关键工艺环节迈入行业当先水平。

本次交付的12英寸减压表延成长设备聚焦先进逻辑与特色硅光器件两大主题领域，依附精准温场流程节造技术，实现高精度硅基薄膜沉积工艺，具备不变性强、均匀性优异、缺点可控等技术优势，可能全面满足硅光器件、先进逻辑、高端存储芯片的表延工艺需要，深度适配国产化先进晶圆造作工艺。

▲ 12英寸减压表延成长设备

这次斩获国内头部客户复购订单，是公司自主研发设备在12寸晶圆产线中通过严苛验证，以及市场对公司的产品力高度认可的有力证明。

▲ 12英寸减压表延成长设备发货

同步交付国内头部客户的等离子加强型原子层沉积（PEALD）设备，是专为集成电路造作行业设计的先进原子层沉积设备，可宽泛利用于电容金属极板与介质层、金属互连扩散反对层、光刻多沉图形距离层等场景。设备在等离子体、热场及流场多前提耦合环境下实现薄膜的不造成长，结合真空区间精准控压技术，确保了沉积过程的高度不变性。

▲ 等离子加强型原子层沉积（ALD）设备

这次ALD产品进入国内头部客户产线，推动公司在半导体主题设备领域实现沉要逾越，为进一步拓展高端集成电路造作市场奠定了坚实基础。

▲ 等离子加强型原子层沉积（ALD）设备发货

恰逢2026年“五一”国际劳动节之际，南宫NG28机电以多台设备成功交付国内头部客户的亮眼成就单向新时期产业工匠心灵致敬，为民族科技自立自强献上节日厚礼。未来，南宫NG28机电将持续秉持“打造半导体资料设备当先企业，发展绿色智能高科技造作产业”的企业使命，以更靠得住的国产设备、更美满的工艺解决规划，为中国半导体产业攀登全球价值链高端注入强劲动能。