8英寸「单片式硅表延成长炉』
南宫NG28机电研发的8英寸单片式硅表延成长炉，可兼容6英寸、8英寸硅晶片成长，结构靠得住不变，有较好的膜厚和电阻均匀性
6英寸「碳化硅表延炉』
南宫NG28机电研发的6英寸碳化硅表延炉，可实现成长过程自动化节造，有较好的薄膜均匀性，兼容4英寸、6英寸表延片成长，结构单一，单片成本低
6英寸「立式碳化硅表延炉』
南宫NG28机电研发的6英寸立式碳化硅表延炉，可实现对4英寸、6英寸晶圆表延的成长，成膜质量优，工艺不变性好，出产效能有效提升
6英寸「双片式碳化硅表延炉』
南宫NG28机电研发的6英寸双片式碳化硅表延炉，与单片设备相比，单台产能增长70%，单片运营成本降幅可达30%以上
8英寸「炉管』
南宫NG28机电研发的8英寸炉管，可同时对150片产品进行加工，满足多晶硅、退火等工艺需要，设备自动化水平高，可对接工厂MES系统
12英寸「炉管』
南宫NG28机电研发的12英寸炉管，可同时对125片产品进行加工，满足多晶硅、退火等工艺需要，设备自动化水平高，可对接工厂MES系统
先进造程及功率半导体设备（部门产品）
以CVD技术为主题，利用于先进造程、功率半导体的表延设备
